干式真空泵种类很多，按工作原理可分为两类：①容积式干式真空泵，例如：多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等，这种干式泵的极限压力一般为0.1Pamdash，10Pa，抽速为0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。此外在这些制造工艺中，被抽气体往往有腐蚀性蒸气或固体颗粒，严重影响油封泵的使用寿命因此，近年来世界各国相继研制出工作在10^5Pamdash，0.1P...

水环真空泵是通过装在进气管在进气管路上的阀门来调整真空度和气量。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小和旋片真空泵相比，他可以抽送带有水蒸气的气体，这是旋片真空泵无法具备的优势，但是水环真空泵用水做密封溶剂，旋片真空泵使用真空油做为溶剂介质，所以就真空度而言，略低于旋片真空泵。　　　　　　四

如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器mdash，mdash，水冷障板。■真空泵充水法：对于进水管直径大于300mm的大、中型泵站，或自动化要求程度较高的泵站，真空抽气装置是常用的一种充水设备。二、水环真空泵停泵操作规程1、停泵通知相关岗位和班长，关闭泵体注水线上的阀门，关闭密封液阀，停电机，关泵出入口阀，确认泵出入口阀全关。

水环真空泵故障常见的故障一般是真空度低或者卡死等1、试车或运转过程中卡死原因：结垢严重解决方法：拆卸清除或用酸洗原因：填料压盖太紧解决方法：放松压盖螺栓原因：内部机件生锈解决方法：用力扳动转子并用草酸清洗原因：异物卡住泵转子解决方法：用水冲刷并打开检查2、电机短路或过载原因：绕组短路解决方法：检查电机绕组。水环真空泵故障常见的故障一般是真空度低或者卡死等1、试车或运转过程中卡死原因：结垢严重解决方...

在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工...

各种干式真空泵的极限压力、特点见表3-114。另外，干式真空泵的转速越高，其压缩比越大，因此非接触型干式真空泵的转速多为3000r/min。　　各种干式真空泵的极限压力、特点见表3-114。